設(shè)備概況

該ALD鍍膜設(shè)備由4個(gè)爐管、龍門(mén)上下料結(jié)構(gòu)、冷卻與緩存料架組成，龍門(mén)上下料負(fù)責(zé)將石英軸放入ALD爐管中，在ALD爐管內(nèi)通過(guò)特定的溫度通入工藝氣體，一段時(shí)間后取出，在緩存料架中冷卻，冷卻完成后該工藝完成。

課題

1. PLC如何保證龍門(mén)機(jī)構(gòu)運(yùn)行的平穩(wěn)度？

2. 如何保證龍門(mén)回原正常？

解決方案

PLC電子齒輪+扭矩平衡補(bǔ)償技術(shù)：

建立主虛軸，使用電子齒輪功能塊將兩軸進(jìn)行同步，并實(shí)時(shí)計(jì)算兩軸的扭矩差值，根據(jù)差值調(diào)節(jié)齒輪比，來(lái)平和兩軸的扭矩，防止出現(xiàn)扭矩不平衡導(dǎo)致機(jī)構(gòu)變形和損傷。由于龍門(mén)剛性較大，調(diào)整幅度不宜過(guò)大，并且不使用PID進(jìn)行調(diào)節(jié)，也減少了調(diào)試時(shí)間，但需要注意補(bǔ)償?shù)姆较颉?/p>

系統(tǒng)配置

使用PLC控制伺服同步完成龍門(mén)功能。

實(shí)現(xiàn)價(jià)值

【經(jīng)營(yíng)層】

■ 協(xié)同推進(jìn)ALD設(shè)備性能優(yōu)化與成本精益管理，支持客戶產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力可持續(xù)發(fā)展。

【業(yè)務(wù)層】

■ 降低高精度定位系統(tǒng)對(duì)高端伺服硬件的依賴性，重構(gòu)運(yùn)動(dòng)控制成本模型。

【現(xiàn)場(chǎng)層】

■ 龍門(mén)機(jī)構(gòu)點(diǎn)動(dòng)、定位及回原功能運(yùn)行平穩(wěn)，動(dòng)作流暢不卡頓。

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