前言

在鋰電池前段極片制造工序中，正、負(fù)極片普遍采用激光刻槽工藝，該工藝不僅可提升電解液浸潤(rùn)性以提高生產(chǎn)效率，還能增強(qiáng)電芯充放電性能。

刻槽屬于精密微結(jié)構(gòu)，其三維尺寸和形貌精度會(huì)直接影響成品品質(zhì)，開展精密三維量測(cè)，是把控鋰電池生產(chǎn)良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

檢測(cè)難點(diǎn)

（1）三維信息采集受限

激光刻槽為窄深式微結(jié)構(gòu)，2D視覺僅可識(shí)別槽口平面特征，無(wú)法獲取槽深、槽底等三維數(shù)據(jù)，難以排查隱性尺寸缺陷。

（2）測(cè)量精度要求嚴(yán)苛

極片刻槽深度一般為10μm-30μm，寬度約100μm，微小尺寸要求檢測(cè)設(shè)備在Z方向測(cè)量精度高，否則無(wú)法測(cè)量刻槽的深度信息。

（3）結(jié)構(gòu)與工況易造成光路遮擋

極片刻槽結(jié)構(gòu)狹長(zhǎng)，若采用激光三角測(cè)量易產(chǎn)生光路陰影，槽底測(cè)量受限；且極片幅面寬大，在線檢測(cè)過(guò)程中會(huì)存在角度偏移、輕微起伏等問(wèn)題，對(duì)檢測(cè)設(shè)備的兼容性提出較高要求。

埃科光電解決方案：線光譜共焦傳感器

針對(duì)極片刻槽精度要求高、結(jié)構(gòu)狹長(zhǎng)、工況復(fù)雜等檢測(cè)難點(diǎn)，?？凭€光譜共焦傳感器憑借亞微米級(jí)精度、零陰影掃描與出色兼容角度等多項(xiàng)優(yōu)勢(shì)，有效化解檢測(cè)痛點(diǎn)，為鋰電池制造工序進(jìn)行精密把關(guān)。

高分辨率成像 亞微米級(jí)精度

線光譜共焦技術(shù)通過(guò)分析被測(cè)物反射回來(lái)的單色光波長(zhǎng)信息，計(jì)算得到物體的高度信息，從而實(shí)現(xiàn)高精度、強(qiáng)抗干擾的三維測(cè)量。