無錫CSEAC直擊|奧偉登工業(yè)顯微鏡賦能半導(dǎo)體精密檢測

聚焦芯視界,聚力精制造!第十四屆半導(dǎo)體設(shè)備材料及核心部件展(CSEAC)盛會火熱啟幕,匯聚全產(chǎn)業(yè)鏈尖端技術(shù)與創(chuàng)新裝備,直擊半導(dǎo)體精密檢測、微觀制程、品質(zhì)管控核心痛點(diǎn)。本次展會,Evident 奧偉登 攜LEXTOLS5500精準(zhǔn)測量激光共聚焦顯微鏡、DSX2000全電動數(shù)碼顯微鏡、BXC光學(xué)組件、OEM物鏡四大核心光學(xué)利器重磅登場,以高精度、高適配、高穩(wěn)定性的硬核實(shí)力,解鎖半導(dǎo)體微米、納米級精密檢測新方案,吸引眾多行業(yè)伙伴駐足觀摩、深度洽談。
在半導(dǎo)體制程愈發(fā)精密化、微型化的當(dāng)下,光學(xué)檢測設(shè)備是芯片制造、封裝測試、材料研發(fā)的核心支撐。奧偉登本次亮相的全系列產(chǎn)品深耕半導(dǎo)體精密光學(xué)領(lǐng)域,覆蓋三維檢測、微觀缺陷觀測、光學(xué)核心配套、定制化成像適配全場景,全方位適配晶圓、芯片、半導(dǎo)體元器件等檢測需求,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提質(zhì)增效注入強(qiáng)勁動能。

LEXT OLS5500 精準(zhǔn)測量激光共聚焦顯微鏡
作為斬獲國際優(yōu)良設(shè)計獎的高端檢測設(shè)備,OLS5500憑借一體化復(fù)合檢測架構(gòu),成為半導(dǎo)體高端制程檢測的核心裝備。設(shè)備融合激光掃描顯微鏡(LSM)、白光干涉儀(WLI)、聚焦變化顯微鏡(FVM)三大核心技術(shù)于單一平臺,打破傳統(tǒng)檢測設(shè)備的功能局限,可精準(zhǔn)完成納米級至微米級全域測量,理想適配半導(dǎo)體微細(xì)加工、晶圓表面平整度檢測、微觀缺陷表征、薄膜厚度測量等高精度場景。

DSX2000 全電動數(shù)碼顯微鏡
深耕工業(yè)精密檢測領(lǐng)域的DSX2000數(shù)碼顯微鏡,憑借靈活高效、高清成像的核心優(yōu)勢,成為半導(dǎo)體封裝測試、元器件缺陷檢測的通用型主力設(shè)備。
? 專為研究和質(zhì)量控制設(shè)計,為所有技能水平的用戶提供直觀操作。
? 以超過4K的分辨率成像,支持從圖像采集到測量、分析和報告全流程。
? 支持界面定制、可與分析軟件無縫集成,全面提升工業(yè)檢測效率及可重復(fù)性。

BXC光學(xué)組件
用于設(shè)備集成的全自動顯微鏡BXC系列組件也吸引了眾多行業(yè)專家駐足。該系列產(chǎn)品致力于提供高品質(zhì)全電動顯微鏡組件,結(jié)構(gòu)緊湊并搭載自動聚焦模塊,專為OEM集成和開發(fā)而設(shè)計。
? 電動切換明暗場照明。
? 電動切換物鏡并自動匹配孔徑光闌。
? 真空物鏡轉(zhuǎn)盤,可防止污染物掉落到樣品上。
? 激光多點(diǎn)自動聚焦,可防止焦點(diǎn)漂移。

OEM定制物鏡
作為半導(dǎo)體高精度檢測的核心光學(xué)部件,Evident持續(xù)推出全新系列物鏡,以更強(qiáng)的光學(xué)性能滿足客戶需求。
白光干涉物鏡:
? 高數(shù)值孔徑,可在低倍大視野下精準(zhǔn)測量陡峭坡度的光滑表面。 ? 溫度補(bǔ)償調(diào)節(jié)環(huán)和固定螺絲,助力干涉條紋對比度不受環(huán)境溫度變化及振動的影響。
MXPLFLN物鏡:
MXPLFLN系列物鏡同時提升了數(shù)值孔徑和工作距離。在常規(guī)的20倍和50倍物鏡下,更高的分辨率通常意味著更短的工作距離,這迫使樣品或物鏡在切換時,物鏡必須退避回縮。MXPLFLN系列物鏡3毫米的工作距離解決了這一問題,使檢查速度更快,物鏡撞擊或損壞樣品的可能性大大減少。

本次第十四屆半導(dǎo)體設(shè)備材料及核心部件展(CSEAC),Evident 奧偉登 以實(shí)景展示、現(xiàn)場實(shí)操、方案解讀的形式,全方位呈現(xiàn)精密光學(xué)裝備賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心價值。從高端精密檢測設(shè)備到核心光學(xué)組件、定制化光學(xué)配套方案,全系產(chǎn)品精準(zhǔn)直擊半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)精密制造痛點(diǎn)。
展會持續(xù)進(jìn)行中,誠邀行業(yè)同仁蒞臨A3-203展臺,現(xiàn)場體驗(yàn)高精度光學(xué)檢測實(shí)力,共探半導(dǎo)體精密制造創(chuàng)新升級新路徑!
關(guān)于 EVIDENT
逾百年來,我們以奧林巴斯之名,樹立了顯微鏡光學(xué)精度的行業(yè)標(biāo)桿,助力探索曾不可見的未知世界。如今,作為Evident,我們傳承名聞遐邇的光學(xué)技術(shù),融合前沿數(shù)字創(chuàng)新,憑借先進(jìn)成像解決方案,繼續(xù)助力科學(xué)家、醫(yī)生及工程師探索未知領(lǐng)域。我們的生命科學(xué)產(chǎn)品組合涵蓋科研、臨床診斷及教育領(lǐng)域,提供從基礎(chǔ)明場/暗場顯微鏡到高端熒光成像、4D分析及數(shù)字病理等全方位成像方案。在工業(yè)顯微鏡領(lǐng)域,我們通過激光掃描顯微鏡、數(shù)碼顯微鏡及半導(dǎo)體顯微鏡,兼具精度與靈活性,可滿足常規(guī)檢測、精密質(zhì)量控制及制造分析等多樣化任務(wù)需求。
無論是推動新療法研發(fā)、保障產(chǎn)品可靠性,還是探索未知領(lǐng)域,Evident 正以易用性工具開啟探索的新紀(jì)元——助力解鎖未知的答案,推動激動人心的全新突破。
Evident 總部位于東京,在日本、美國、德國及中國設(shè)有研發(fā)與制造中心,業(yè)務(wù)覆蓋全球,并配備專屬銷售及服務(wù)中心。
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